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MKS 640A/640B绝对压力控制器

MKS仪器640绝对压力控制器是一个自包含的紧凑,闭环电子控制用于上游或下游的压力控制系统

  • 商品编号:G53995A3037FF8
  • 货  号:G53995A3037FF8
  • 品  牌:MKS
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MKS 640A/640B绝对压力控制器

    MKS仪器640绝对压力控制器是一个自包含的紧凑,闭环电子控制用于上游或下游的压力控制系统。 它包含一个的Baratron®电容压力计,常闭比例控制阀,以及闭环控制电子元件。

    电类似于一个标准的MFC中,640是由±15 VDC在消耗仅为200 mA供电,允许使用标准的电源/电子显示。 压输出和输入控制信号是线性的0-5或0-10 VDC,用户可选。 两个触发点都包含在640,带有LED状态指示灯,用作简单的开/关过程限制。

    640 A是标准版- 640 B是符合RoHS标准。

特点和优点:

    ◆集成的Baratron®压力计的准确性,可靠性和广泛的

    ◆满量程低压流程范围低至10乇

    ◆上游或下游应用

应用范围:

    640典型应用包括起泡器背压控制,气歧管压力控制,以及晶圆背面压力控制。

配置列表:

    

    

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