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MKS 245金属阀座控制阀

  • 商品编号:G539958BA2D488
  • 货  号:G539958BA2D488
  • 品  牌:MKS
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MKS 245金属阀座控制阀

    245阀是威 - 菲利普斯系列216全金属,可烘烤控制阀的修改版本。 245阀门能够控制在10 -11压到6000托的,具有高达2500 Torr-liters/sec(200 SLM)的最大吞吐量:本阀可与排除使用其他阀门许多腐蚀性气体中使用。 除去了阀门驱动器组件,该阀可被烘烤到450℃的超高真空应用。 用于驱动类型245的步进电机的允许在几分之一秒响应于压力或设定点的改变,并且将驱动阀从全闭到只有15秒的完全打开位置。 该型244控制器完成系统。

    该类型二百四十五分之二百四十四压力/流量控制系统是用于真空工艺的闭环反馈控制系统需要一个全金属,可烘烤控制阀,用于大范围的压力或流量控制。 类型二百四十五分之二百四十四系统,包括一个控制模块和伺服控制的泄漏阀,是非常适合的单一气体处理如溅射,溅射蚀刻,离子源控制,离子注入,真空计校准等。

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