商品分类

浏览过商品

   
查看大图

MKS 臭氧气体发生器SEMOZON

美国MKS 臭氧气体发生器SEMOZON臭氧气体发生器(AC8407/AX8407C/AX8410)和子系统是紧凑型,高浓度,超洁净的臭氧气体产生的行业标准。应用包括原子层电位沉积(ALD),化学气相沉积法(CVD),清洗和水处理。

  • 商品编号:G53994EF4B8728
  • 货  号:G53994EF4B8728
  • 品  牌:MKS
  • 销售价: ¥0
购买数量:
  (库存9999+)
app hook

美国MKS 臭氧气体发生器SEMOZON

SEMOZON®臭氧气体发生器和子系统是紧凑型,高浓度,超洁净的臭氧气体产生的行业标准。应用包括原子层电位沉积(ALD),化学气相沉积法(CVD),清洗和水处理。

SEMOZON®AX8407 的高浓度,大流量臭氧发生器

SEMOZON®AX8407是一种高浓度,超洁净臭氧发生器。通过设计改进,SEMOZON®AX8407延长专利MKS电池技术和生产验证的设计提供其规模最高性能的能力。

AX8407是目前市场上纯度最高的臭氧发生器。它通过无声放电转换纯氧成臭氧和可达到的最高输出浓度水平。它需要掺杂氮气只有分钟的水平,远远低于需要的有竞争力的臭氧发生器的水平。其结果是,臭氧是超洁净和污染物,如NOx化合物的存在,是非常低的。

应用范围:

臭氧是一种环保的替代许多化学过程。它具有高氧化还原电势,可以在使用点被产生,并容易转化为氧气。典型的半导体臭氧应用包括TEOS /臭氧化学气相沉积,化学气相沉积氧化钽,光阻去除,晶圆清洗,去除杂质,表面处理,氧化增长,ALD。臭氧也非常适合于制药和水处理应用,包括清洗,杀菌,消毒,以及清洁就地(CIP)的使用。


SEMOZON®AX8407C 小型臭氧发生器

该SEMOZON®AX8407C是在相对较低的流量能够高浓度超净臭氧的紧凑型臭氧发生器。它有4个输出配置过程中脱颖而出的灵活性和最低的成本通过匹配性能的工艺要求。它利用创新的设计高效率臭氧产量与低流量,高浓度,从一个非常紧凑的尺寸臭氧。发电机采用专利的臭氧发生单元技术,通过无声放电产生臭氧,以达到最高输出浓度水平。

应用范围:

应用用于半导体生产的AX8407C包括原子层沉积(ALD),化学气相沉积(CVD),光刻胶剥离,清洗,除去污染物,表面调节和氧化物生长它也可用于杀菌,消毒,环境整治和需要的其他应用程序紧凑的源成本低,使用点的臭氧。


SEMOZON®AX8410 PRIME 超洁净,超高浓度,超高流量臭氧发生器

SEMOZON®AX8410 PRIME是最初的产品供应结构紧凑,高浓度,高流动,超洁净臭氧发生器MKS的新一代平台。它拥有一个全新设计的电池和电源结构,实现了臭氧产量的早期型号具有类似的足迹两次。

该SEMOZON®AX8410 PRIME通过无声放电转化氧气臭氧。其新颖的专利池设计支持新的工艺要求,需要更高的臭氧浓度流速高达80 SLM。增加的流速和较高浓度的位置的AX8410 PRIME发生器,以满足下一代半导体工艺的臭氧需求。

特点和优点:

臭氧浓度高达375克/牛顿米3或24.2%(重量)在5℃下支持新的工艺要求和快速的处理速度
Ø 2流量为5 SLM 80 SLM使流程的灵活性
专利的电池结构设计提高了间隙的均匀性,使生产高浓度臭氧
高浓度臭氧输出使创新的系统设计机会
更严格的过程控制闭环操作
新的多参数触摸屏界面的智能面板操作和控制
数码遥控和所有参数的回读
扩展数据记录功能
与SEMOZON®AX8407向后兼容的通信接口
专为可靠性和法规遵从

如果您对本商品有什么问题,请提问咨询!
如果您对本商品有什么评价或经验,欢迎分享!