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MKS RGA真空泄漏检测与分析

美国MKS RGA真空泄漏检测与分析 RGA真空进程监视器 进程质谱残余气体分析 MKS进程监视器产品创新原位过程监测仪器的完全集成,应用程序特定的软件包,包括成分的残留气体分析仪(RGAs的),分析设备和控制软件。过程质谱仪被用于各种应用,包括化学气相沉积,蚀刻,和物理气相沉积工艺气体分析。

  • 商品编号:G53994A7F17E1C
  • 货  号:G53994A7F17E1C
  • 品  牌:MKS
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美国MKS RGA真空泄漏检测与分析

RGA真空进程监视器 进程质谱残余气体分析

MKS进程监视器产品创新原位过程监测仪器的完全集成,应用程序特定的软件包,包括成分的残留气体分析仪(RGAs的),分析设备和控制软件。过程质谱仪被用于各种应用,包括化学气相沉积,蚀刻,和物理气相沉积工艺气体分析。

Products

Vision 2000-B™ Vacuum Baseline Monitor RGA

Vision 2000-C™ & Vision 2000-E™ RGA for CVD and Etch

Vision 2000-P™ Process Monitor RGA

HPQ3 High Pressure RGA (less than 1 mTorr)

HPQ3S High Pressure RGAs (less than 8 mTorr)

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