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MKS RGA气体分析仪

美国MKS RGA气体分析仪 RGA残余气体分析 真空泄漏检测 MKS 质谱气体分析仪产品是创新的原位过程监测仪器的完全集成,应用程序特定的软件包,包括成分的残留气体分析仪(RGAs的),网络功能的RGA的,分析设备和工艺个RGAs和控制软件。

  • 商品编号:G539949C9A50BF
  • 货  号:G539949C9A50BF
  • 品  牌:MKS
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美国MKS RGA气体分析仪

残余气体分析(RGA)技术的显著进步,开放的真空监测和电子诊断的新的可能性。有了一个前所未有的广泛的仪器控制选项,E-Vision2残余气体分析仪的目的是使真空故障排除和监控室残余气体直截了当的。

RGA原位过程监控

MKS 质谱气体分析仪产品是创新的原位过程监测仪器的完全集成,应用程序特定的软件包,包括成分的残留气体分析仪(RGAs的),网络功能的RGA的,分析设备和工艺个RGAs和控制软件。

真空监测和电子诊断
超高真空(UHV)
化学气相沉积过程
真空基线RGA
离子注入
光致抗蚀剂检测
高压RGA
PVD
蚀刻
扩散
传输室监控
泄漏检测
大气压力气体分析

RGA真空泄漏检测与分析

残余气体分析仪可以分析从真正的泄漏,虚拟泄漏或室壁除气系统产生的气体负载一个非常有效的工具。个RGAs有许多优于传统的专用燃气泄漏探测器,包括分化能力不同气种的,可比的灵敏度水平,及时发现内部或“虚拟”的泄漏和检测和分析脱气问题的能力。MKS提供了一个广泛的RGA工具和支持软件套件,使工艺室泄漏检测与分析快速和容易。

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