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MKS P系列流量控制器/流量计

美国MKS P系列高性能热式质量流量控制器和质量流量计 P系列,高性能质量流量控制器是专为最关键的工艺应用中的准确性,可重复性以及压力不敏感的需求。

  • 商品编号:G539924B78025F
  • 货  号:G539924B78025F
  • 品  牌:MKS
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美国MKS P系列流量控制器/流量计

P系列高性能热式质量流量控制器和质量流量计

P系列高性能质量流量控制器是专为最关键的工艺应用中的准确性,可重复性以及压力不敏感的需求。

共同特点:

Multi-range/multi-gas能力; 的设定值精度1%
采用金属密封的MFC
小于750毫秒的建立时间
单面电源:11至25 VDC
模拟量I / O选项; 0至5伏直流
数字I / O:器件; RS485
集成显示器
内嵌Modbus
以太网用户界面

P2A高性能金属密封质量流量控制器为非常低的压降应用

2 SCCM至20 SCCM低压降满量程流速
小于2 seecond稳定时间
模拟I / O只有:0到5 VDC 

P4B高性能多气,多量程质量流量控制器的流量高达50 SLM

满量程流量从5 SCCM至50 SLM 
Multi-gas/multi-range与设定值精度1%,
模拟I / O:0 5 VDC 
数字I / O:DeviceNet™,RS485 
MFM选择

P9B高性能压力不敏感,多气体,多范围的质量流量控制器的流量高达50 SLM

满量程流量从5 SCCM至50 SLM 
压力不敏感的MFC带整体压力传感器
Multi-gas/multi-range 1 %的设定值精度
模拟I / O:0到5 VDC 
数字I / O:DeviceNet™,RS485 

P250A高性能,高流量质量流量控制器的流量高达250 SLM

满量程流量从100 SLM 250 SLM 
Multi-gas/multi-range与设定值精度1%,
模拟I / O:0到5 VDC; 4至20 mA 
数字I / O:DeviceNet™,RS485,Profibus

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