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MKS压力真空传感器

美国MKS压力真空传感器 317对流增强型皮拉尼真空传感器是通用的真空计的前级压力的测量。它可以在许多工业应用,如半导体制造,负载锁,泄漏检测,真空镀膜,并冷冻干燥机中使用。Bakable和317对流增强型皮拉尼真空传感器的耐辐射版本适用于高能量物理应用。

  • 商品编号:G5399616CD153D
  • 货  号:G5399616CD153D
  • 品  牌:MKS
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美国MKS压力真空传感器

317对流增强型皮拉尼压力真空传感器(1.0×10 -3至1000Torr)

在高压下更大的精度,MKS,HPS®317 Convenction增强型皮拉尼真空传感器的设计增强了传热,通过对流进行测量高达1000托。

特点和优点:

成本低
坚固耐用的设计
可用Bakable和耐辐射版本

应用范围:

317对流增强型皮拉尼真空传感器是通用的真空计的前级压力的测量。它可以在许多工业应用,如半导体制造,负载锁,泄漏检测,真空镀膜,并冷冻干燥机中使用。Bakable和317对流增强型皮拉尼真空传感器的耐辐射版本适用于高能量物理应用。

前级测量
Turbo或扩散泵控制
前级阀控制


431/423I-Mag冷阴极真空传感器(1.0×10 -11到1.0×10 -2Torr)

MKS,HPS®冷阴极真空传感器是基于气体的电离概率,与电离为电子的高电压放电的结果。HPS®冷阴极真空压力传感器是基于反磁控设计,为增加测量范围。双馈离子收集是一个独特的高压钠灯®功能,使得压力读数比其他冷阴极真空和压力传感器更精确。

431真空传感器具有更高的工作温度和定制机型可供选择。在I-MAG®423真空传感器是低成本的,更紧凑,并具有较高的烘烤温度。

特点和优点:

传感器管可以安装在任何位置,而不影响阅读
无灯丝烧坏
无需脱气压力表
在发射电流或所需的灯丝电压无调整

应用范围:

高能物理
分析仪器
激光生产
离子注入
质谱
PVD

Products

  • 317 Convection-Enhanced Pirani Vacuum Sensors (1.0x10-3 to 1000 Torr)
  • 431 & 423 I-Mag® Cold Cathode Vacuum Sensors (1.0x10-11 to 1.0x10-2 Torr)
  • 345 Pirani Vacuum Sensors (1.0x10-4 to 100 Torr)
  • Nude Hot Cathode Ionization Vacuum Sensor (5.0x10-10 to 1.0x10-2 Torr)
  • Mini Ion Gauge (MIG), Hot Cathode Ionization Vacuum Sensor, (5.0x10-10 to 1.0x10-2 Torr)
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